SENS4真空計VPM-15 TriCAP

VPM-15 TriCAP 傳感器為各種真空應用提供了一體化寬量程測量解決方案，從而確立了新的標準。與其他真空計不同的是，它具有成本效益，測量范圍從 5.0E-3 到 1333 毫巴，不依賴于氣體，同時還能利用熱損失原理測量低至 1E-6 毫巴的真空。在氣體成分或類型可能發生變化的真空應用中，傳統的氣體依賴型皮拉尼真空計會導致測量結果與實際壓力存在偏差。TriCAP 傳感器采用電容式膜片真空計 (CDG) 傳感器，減免了對氣體的依賴性，在氣體性質發生變化時也能提供準確的測量。集成的熱損耗 MEMS Pirani 傳感器將測量范圍擴展至 1E-6 mbar，并提供新穎的電容式壓力計自動調零功能，從而消除了傳統電容式膜片真空計手動調零的常見需求。VPM-15 TriCAP 是一款新型多傳感器真空計，是傳統皮拉尼真空計應用的性能升級之選，也是使用單獨電容式壓力計和皮拉尼真空計的應用的成本優化型一體化解決方案。

測量范圍從 1×10^-6 到 1333 毫巴（7.5×10^-7 到 1000 托）

與氣體無關的傳感器，測量范圍從 5×10^-3 到 1333 毫巴

超寬量程高性能 MEMS 皮拉尼傳感器

堅固耐用的陶瓷電容隔膜真空計   

可安裝在任何方向而不影響性能

可編程電壓輸出信號，可與其他供應商仿真

數字 RS-232 或 RS-485 接口

用于真空過程控制的三個固態設定點

可直接替換 MKS 925 MicroPirani 和 910

緊湊型多傳感器解決方案

1 RS-232 發送 / RS-485 (-)

2 RS-232 接收 / RS-485 (+)

3 電源電壓 12-30 VDC

4 電源電壓 -（返回）

5 模擬電壓信號 +

6 模擬電壓信號 - （返回）

7 繼電器 1 NO（常開觸點）

8 繼電器 1 公共端

9 繼電器 1 NC（常閉觸點）

10 繼電器 2 NC（常閉觸點）

11 繼電器 2 公共端

12 繼電器 2 常開（常開觸點）

13 繼電器 3 NC（常閉觸點）

14 繼電器 3 公共端

15 繼電器 3 常開（常開觸點） 可選繼電器

編程設備

RS-232 轉 USB，15 針 HD D-sub，電源（90-230VAC）PRG-WPRS2-15DS-01

RS-485 轉 USB，15 針 HD D-sub，電源（90-230VAC） PRG-WPRS4-15DS-01

RS-232 USB 編程器，1.5 米電纜 PRG-RS232-DS15 RS-232

RS-485 USB 編程器，1.5 米電纜 PRG-RS485-DS15 RS-485

校準證書

DAkkS 實驗室認可的校準證書。cal-vpm15-dakss

電纜

15 針 HD D-sub 母頭至 15 針 D-sub 公頭，帶 3 m 電纜 CAB-F15DSM15DS-003

15 針 HD D-sub 母頭轉 15 針 D-sub 公頭，帶 5 米電纜 CAB-F15DSM15DS-005

15 針 HD D-sub 母頭轉 15 針 D-sub 公頭，帶 10 m 電纜 CAB-F15DSM15DS-0105

產地：丹麥

測量范圍：1×10^-6 至 1333 mabr（7.5×10^-7 至 1000 托）

測量原理 1×10^-6 至 1×10^-3 mabr：MEMS 皮拉尼熱導率

測量原理 1×10^-3 至 4.99×10^-3 mabr：混合 MEMS 皮拉尼/CDG 讀數

測量原理 5.0×10^-3 至 3.99 mbar：電容式隔膜真空計 (CDG)

測量原理 4 至 6 mbar：混合 MEMS 壓電 / CDG

測量原理 6 至 1333 mbar：MEMS 壓電電阻膜片

精度 1×10^-5 至 9.99×10^-5 mbar：讀數的 25 %

精度 1×10^-4 至 9.99×10^-3 mabr：讀數的 5 %

精度 1E-2 至 800 mabr：讀數的 0.5 %

精度 800 至 1099 mabr：讀數的 0.25 %

精度 1100 至 1200 mabr：讀數的 0.5 %

真空溫度傳感器范圍：-20 至 + 85 ℃

真空溫度傳感器精度：+/- 1.5 ℃

模擬輸出分辨率：16 位 (150 µV)

模擬輸出更新率：124 Hz

響應時間：< 20 ms

溫度補償：+10 至 +50 ℃

固態繼電器設定點范圍（Abs值）：5×10^-6 至 1333 mabr（3.75×10^-6 至 1000 托）

固態繼電器觸點額定值：50 V、100 mArms / mADC

固態繼電器觸點耐久性：無限制（無機械磨損）

固態繼電器認證：UL 認可：文件 E76270；CSA 認證：證書 1175739；EN/IEC 60950-1 認證

工作環境溫度：-20 至 +50 ℃

介質溫度：-20 至 +50 ℃

存儲環境溫度：-20 至 +80 ℃

烘烤溫度（非工作）：+80 ℃

Max介質壓力：4 巴壓力_Abs

安裝位置：任意

防護等級，EN 60529/A2:2013：IP40

濕度，IEC 68-2-38：98 %，無冷凝

電源電壓：12 至 30 VDC

功耗：350 mW（Max值）

反限性保護：是

過壓保護：是

內部保險絲：100 mA（可熱恢復）

PVD 涂層、冷凍干燥終點檢測、熔爐熱處理、皮拉尼校準、質譜儀、掃描電子顯微鏡