ENTEGRIS快速排氣擴(kuò)散器Chambergard BGN

Chambergard BGN 擴(kuò)散器使用燒結(jié)鎳過(guò)濾器元件快速擴(kuò)散進(jìn)入的氣流，使負(fù)載鎖定和/或傳輸室以更高的速度填充，而不會(huì)產(chǎn)生顆粒干擾或過(guò)度湍流。 BGN 擴(kuò)散器的高保持性鎳元素可去除進(jìn)入氣體中的亞微米顆粒污染物并迅速排放到大氣中，從而減少晶圓缺陷并縮短循環(huán)時(shí)間。 BGN 擴(kuò)散器旨在滿(mǎn)足平板顯示器和 300 毫米工具客戶(hù)的需求，以提升效率、縮短腔室排氣時(shí)間并提高產(chǎn)量。 憑借我們的全球基礎(chǔ)設(shè)施，我們可以提供 Chambergard BGN 快速通風(fēng)擴(kuò)散器，以滿(mǎn)足您在全球范圍內(nèi)的需求。

燒結(jié)鎳技術(shù)可在所有應(yīng)用中提供良好的性能

設(shè)計(jì)能夠從進(jìn)入的氣體中去除大于 0.0015 µm 的顆粒，從而大限度地減少晶圓缺陷

易于安裝/改裝到現(xiàn)有工具中，大限度地減少停機(jī)時(shí)間