SENS4真空傳感器VPM-7 SmartPirani ATM

產(chǎn)地

丹麥

測(cè)量范圍

1×10^-6至 1333 mbar (7.5×10^-7至 1000 托)

測(cè)量原理（1×10^-6至 1.5 mbar）

MEMS 皮拉尼熱導(dǎo)率

測(cè)量原理（1.5 至 2 mbar）

MEMS 皮拉尼/壓電混合讀數(shù)

測(cè)量原理（2 至 1333 mbar）

MEMS 壓阻膜片

精度（1×10^-5至 9.99×10^-5

讀數(shù)的 25%

精度（1×10^-4至 7.99 mbar）

讀數(shù)的 5%

精度（8.00 至 99.9 mbar）

讀數(shù)的 1%

精度（100 至 800 mbar）

讀數(shù)的 0.5%

精度（800 至 1099 mbar）

讀數(shù)的 0.25%

精度1100 至 1333 mbar

讀數(shù)精度 0.5%

1×10^-3至 10 mbar（ISO19685:2017）滯后

1%

10 至 1333 mbar（ISO19685:2017）滯后

0.1%

模擬輸出分辨率

16 位 (150 μV)

模擬輸出更新頻率

124 Hz

響應(yīng)時(shí)間（ISO 19685:2017）

<20 ms

溫度補(bǔ)償

+10 至 +50 °C

固態(tài)繼電器設(shè)定點(diǎn)范圍

5×10^-6至 1333 mbar (3.75×10^-6至 1000 Torr)

固態(tài)繼電器觸點(diǎn)額定值

50 V，100 mArms / mADC

工作環(huán)境溫度

-20 至 +50 °C

介質(zhì)溫度

-20 至 +50 °C

存儲(chǔ)環(huán)境溫度

-40 至 +120 °C

烘烤溫度（非工作狀態(tài)）

+120 °C

介質(zhì)壓力

10 bar abs.壓力

安裝位置

任意

防護(hù)等級(jí)，EN 60529/A2:2013

IP40

濕度，IEC 68-2-38

98%，無冷凝

外殼

SS 1.4307 / AISI 304L / 鋁合金 6061

真空工藝法蘭（介質(zhì)接觸面）

SS 1.4401 / AISI 316

真空暴露材料（介質(zhì)接觸面）標(biāo)準(zhǔn)版

316 不銹鋼、科瓦合金、玻璃、硅、鎳、鋁、二氧化硅、氮化硅、金、氟橡膠、低揮發(fā)性環(huán)氧樹脂、焊料、RO4305

真空暴露材料（介質(zhì)接觸面）聚對(duì)二甲苯保護(hù)版

316不銹鋼、氟橡膠、聚對(duì)二甲苯

真空暴露材料（介質(zhì)接觸）陶瓷保護(hù)型

316不銹鋼、氟橡膠、氧化鋁陶瓷（Al?O?）

工藝泄漏密封性

<1×10^-9mbar·l/s

平均故障間隔時(shí)間 (MTBF)

13,092,170 小時(shí)

故障率 (FIT，其中時(shí)間=10×10?小時(shí))

76.38